5 nm désigne le procédé de fabrication des semi-conducteurs qui succède au procédé 7 nm. En 2018, le fabricant TSMC annonce que le début de la production en volume de microprocesseurs utilisant cette technologie commencerait en 2020[1], basée sur la photolithographie EUV. Apple utilise cette technologie pour ses puces A14, A15 et M1.
Le kirin 9000 de HiSilicon, sorti à l'automne 2020, est le deuxième processeur mobile du monde (après la puce A14 d'Apple) à être gravée en technologie 5 nm[2].
En , Samsung Electronics présente son premier processeur 5 nm, l'Exynos 1080[3]. Il est suivi en par l'Exynos 2100, également 5 nm, qui équipe notamment les Galaxy S21[4].